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Simulador de corrosão de substrato usando técnica front-side para fabricação de MEMS em Java

dc.contributor.advisorReis, André I.pt_BR
dc.contributor.authorKonzen, Andersonpt_BR
dc.contributor.authorMartinazzo, Fábiopt_BR
dc.contributor.authorTogni, João D.pt_BR
dc.contributor.authorRibas, Renato P.pt_BR
dc.date.accessioned2013-12-04T11:31:03Zpt_BR
dc.date.issued2002pt_BR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10183/82232pt_BR
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoporpt_BR
dc.relation.ispartofSalão de iniciação Científica (14. : 2002 : Porto Alegre, RS). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2002.pt_BR
dc.rightsOpen Accessen
dc.titleSimulador de corrosão de substrato usando técnica front-side para fabricação de MEMS em Javapt_BR
dc.typeResumo publicado em eventopt_BR
dc.contributor.eventSalão de iniciação Científica (14. : 2002 dez. 2-6 : UFRGS, Porto Alegre, RS).pt_BR
dc.subject.sessionMicroeletrônica iipt_BR
dc.subject.cnpqCiências exatas e da terrapt_BR
dc.type.presentationApresentação oralpt_BR
dc.identifier.old-sic20020311pt_BR


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Nome:
Resumo_20020311.pdf
Tamanho:
12.33Kb
Formato:
PDF
Descrição:
Resumo
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