Navegação Microeletrônica por Autor "Ferla, Tania Mara"
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Simulação litográfica
Ferla, Tania Mara (2014) [Dissertação]Litografia óptica é o processo pelo qual os padrões desenhados pelos projetistas de circuitos integrados são transferidos para o wafer através de ondas de luz. Com a miniaturização dos componentes, aumenta cada vez mais a ...